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                焦点日报:机构:电子特气NF3、WF6紧缺将持续至2026年

                来源:网络整理     时间:2022-09-06 16:06:48


                (资料图片)

                半导体材料市场研究机构TECHCET日前表示,半导体制程工艺所需的特种气体三氟化氮 (NF3) 和六氟化钨 (WF6) 供应持续紧张,这样的状态可能将延续至2025-2026年。

                TECHCET认为,NF3供应紧缺程度尤高,包括显示面板在内的泛半导体制造对NF3需求不断增加,预计未来五年市场规模将增加72%。不过由于其属于较强效的温室气体,业界也正在研究其替代方案用于反应腔清洗。

                WF6目前广泛应用于 3D NAND 生产,不过存储器厂商已经在研究新型材料替代方案,2025年可能成为大规模换代的转折点,不过目前尚难确切预估其节奏。

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